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? ORD229 l
(3) Breakdown voltage
(4) Insulation resistance
99.9
99
（DC100V）
DC：V
800
600
400
200
95
90
80
70
60
50
40
30
20
10
5
1
0
10
20
30
Pull-in Value
40
50
60
AT
0.1
10 10
10 11
10 12 10 13
Insulation resistance
10 14
W
(5) Electrostatic capacitance
(1MHz)
pF
0.4
0.3
0.2
0.1
0
10
20
30
Pull-in Value
40
50
60
AT
97
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